| 項目 |
規格 |
| 成長法/Growth Method |
CZ |
| サイズ/Inch |
5” |
6” |
8” |
12” |
| 厚み/Thickness |
625±25um |
625±25um
675±25um |
725±25um |
775±25um |
| 結晶方位/ Crystal orientation |
＜100＞ / ＜111＞ / ＜110＞ / 不問 |
| ノッチ・オリフラ方位/ Notch orientation |
＜100＞ / ＜111＞ / ＜211＞ / 不問 |
| 表面/Front side |
MP |
MP |
MP |
MP |
| 裏面/Back side |
ET |
ET |
ET |
MP |
| タイプ・ドーパント/Type・Dopant |
P型 / N型 |
| 抵抗値/Resistivity |
1-100ohm-cm |
| オリフラorノッチ/Orientation flat or Notch |
オリフラ |
オリフラorノッチ |
オリフラorノッチ |
ノッチ |
| パーティクル/Particle |
0.037μm≦50 ～ 0.3μm≦10 |
| 表面金属(atoms/㎠) |
Fe,Cr,Ni,Cu,Zn,K,Na,Ca,Al ≦1E10 or ≦5E10 |
| 数量(atoms/㎠) |
25枚/ケース |
| 梱包形態 |
アルミパック シュリンク |
| 備考 |
1,ご指定の抵抗値はお問い合わせ下さい。
2,パーティクル ご指定のパーティクルはお問い合わせ下さい。
3,表面金属汚染（ライン保証のご指定はお問い合わせ下さい。
4,その他ご要望がございましたらお気軽にお問合せ下さい。
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