ダミーウエハー
ダミーウェハーとは
ダミーウェハーとは、テストウェハーとも呼ばれ、製品ウェハーと異なり、主に機器の実験や検査に用いられるウェハーのことです。製造装置の稼働テスト、搬送テストやメカニカル評価(切る、削る、磨く等)などに幅広く使用されます。
ダミーウェハーの特徴
実験やテストで使用することが多い為、サイズや厚みも様々です。
再生ウェハーを用いる場合もあります。
また、パーティクル管理されたシリコンウェハー製品と比べると安価であり、
小ロットでの出荷にも対応できるのがダミーウェハーの特徴です。
製造装置ではプロセスの安定性を上げるため最初の数枚ダミーウェハーを投入したり、
製造プロセスの最適化とモニタリングに用います。ダミーウェハーはデバイス製造には向きませんが、モニタリングやテストには十分適しており、新品のウェハーの代わりに多く利用されています。
ダミーウェハーはウェハー製造のあらゆる工程におけるテスト、
調整で重要な働きをするウェハーなのです。
トリニティーの強み
豊富な取り扱い製品
多品種のシリコンウエハーを豊富に取り揃えております
小ロット対応可能
お客様の要望を丁寧に細かく対応致します
短納期
豊富な在庫により短納期を実現しております
柔軟な対応
在庫ウエハーでカバーできない規格もインゴットから加工対応
弊社では、丁寧なヒアリングを行いお客様のニーズにあった最適なウェハーをご提案させていただきます。
カセットケース入り、コインロールケース入りなどご希望に合わせた形態で発送いたします。
タイプや厚みを不問としさらにコストを抑えるウェハーの販売も可能です。
項目 | 規格 | ||||||
サイズ(inch) | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 8 | 12 |
製造方法 | CZ / FZ | ||||||
タイプ | P型 / N型 / 不問 | ||||||
結晶方位 | <100> / <111> / <110> / 不問 | ||||||
ノッチ/オリフラ方位 | <100> / <111> / <211> / 不問 | ||||||
厚み(μm) | 280 | 380 | 525 | 625 | 625/675 | 725 | 775 |
厚み公差(μm) | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
比抵抗(Ω・cm) | 0.005~ / 不問 | ||||||
オリフラorノッチ | オリフラ | オリフラ | オリフラ | オリフラ | ノッチorオリフラ | ノッチorオリフラ | ノッチ |
面仕上げ | 片面ミラー(MP/ET) / 両面エッチド(ET/ET) | 両面ミラー(MP/MP) | |||||
パーティクル | 不問 | ||||||
梱包形態 | コインロール / カセットケース | ||||||
備考 | 6インチのオリフラ規格は、JEITA,SEMIどちらも対応可能です。 |